二段式流量分配法による分圧真空計の校正サービス
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
The calibration service for partial pressure analyzers (PPA) has been carried out from April in 2007 at NMIJ/AIST using a two-stage flow-dividing system. The pressure range is from 10-6 to 10-4 Pa and the test gases are N2, Ar, He and H2. Results of the calibration for two types of PPA were also shown. The sensitivities of both PPAs were almost constant in the pressure range from 10-6 to 10-4 Pa, while they changed significantly with pressure higher than 10-4 Pa. The calibration uncertainties mainly caused by the instability of PPA indication were about 7% (confidence level 95%). The stability of sensitivities of both PPAs was in about 15% for 7 months.
- 日本真空協会の論文
- 2008-03-20
著者
-
平田 正紘
(独)産業技術総合研究所
-
秋道 斉
(独)産業技術総合研究所
-
吉田 肇
(独)産業技術総合研究所
-
新井 健太
(独)産業技術総合研究所
-
新井 健太
独立行政法人 産業技術総合研究所 計測標準研究部門
-
吉田 肇
(独)産業技術総合研究所 計測標準研究部門
-
秋道 斉
(独)産業技術総合研究所 計測標準研究部門
関連論文
- 第5回規格標準報告会について
- 規格標準報告会「ISO/TC112東京総会の報告とこれからの規格化計画」
- 第3回規格標準報告会について
- 真空計の比較校正方法の規格について
- 真空用フランジおよび配管継手類に関する国際・国内規格の概要と相関
- 国産の呼び外径305mmベーカブルナイフエッジフランジと欧米製ガスケットの組合せ使用におけるシール信頼性
- 理想的な円筒形からのずれによるオリフィスコンダクタンスの変化
- 鏡面反射成分を考慮したオリフィス通過確率のモンテカルロシミュレーション
- 真空標準用の定圧式微量流量計の開発
- 二段式流量分配法による分圧真空計の校正サービス
- キャピラリーを用いた安定な真空圧力場の作製
- 熱陰極電離真空計の高精度制御電源の試作
- 中間流領域におけるスピニングローター真空計の特性(II)
- 隔膜真空計を用いた圧力測定のための熱遷移補正
- 隔膜真空計を用いた圧力測定のための熱遷移補正
- 真空標準用の定圧式微量流量計の開発
- 表面の凹凸による気体分子の散乱角分布への影響を考慮した新しいモンテカルロ計算方法
- 標準コンダクタンスエレメントとコンダクタンス変調法の組み合わせによる高真空ポンプの実効排気速度と電離真空計の感度のその場測定法
- 協会員による研究活動の記録(その1) (特集 日本真空協会 50年史)
- 標準コンダクタンスエレメントとコンダクタンス変調法の組み合わせによる高真空ポンプの実効排気速度と電離真空計の感度のその場測定法
- Report of the 3rd VSJ•JVIA Meeting on Vacuum Standards
- 真空計測における定量測定と不確かさの考え方について