真空計測における定量測定と不確かさの考え方について

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概要

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•   The purpose of this review paper is to explain the procedure to measure vacuum pressure quantitatively. This paper also includes following contents, i) concepts of "uncertainty" and "traceability", ii) obstructions to measure vacuum pressure quantitatively, iii) methods to generate absolute pressure, and iv) practical use of calibration certificate. It is stressed that two points are most important for quantitative measurement of vacuum pressure; to clarify the relation between the pressure indication of a vacuum gauge and absolute pressure, and to evaluate the reliability of the measurement, in other words "uncertainty", quantitatively.

• 一般社団法人 日本真空学会の論文

著者

• 吉田 肇

  (独)産業技術総合研究所

• 吉田 肇

  (独)産業技術総合研究所　計測標準研究部門

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