窒素ガス中でのパルスレーザーによるAlN薄膜の低温堆積

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概要

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• 2010-12-16

著者

• 升方 勝己

  富山大学大学院理工学研究部(工学)

• 升方 克己

  長岡技科大・工

• 伊藤 弘昭

  富山大学

• 升方 勝巳

  長岡技科大

• 升方 勝己

  富山大学

• 王 植平

  富山大学

• 伊藤 弘昭

  宇部宮大院工

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