IGBT縦構造への薄ウエハプロセス技術を用いたLPT(II)コンセプトの有効性
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概要
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- 2009-10-29
著者
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幡手 一成
三菱電機(株)パワーデバイス製作所
-
中村 勝光
三菱電機(株)パワーデバイス製作所
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斉藤 省二
三菱電機(株)パワーデバイス製作所
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大宅 大介
三菱電機(株)パワーデバイス製作所
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岡部 博明
三菱電機(株)先端技術総合研究所
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中村 勝光
三菱電機株式会社パワーデバイス製作所
-
中村 勝光
三菱電機(株)
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