ドライエッチングを用いた水晶の三次元的微細加工とセンサへの応用
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概要
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- 2007-12-07
著者
-
西澤 松彦
東北大学大学院工学研究科
-
安部 隆
東北大学
-
西澤 松彦
東北大学 大学院工学研究科
-
西澤 松彦
東北大学工学研究科バイオロボティクス専攻
-
岸 宏樹
東北大院
-
安部 隆
東北大学大学院工学研究科
-
加藤 寛
東北大学・工学部
-
岸 宏樹
東北大学
-
加藤 寛
東北大学
-
西澤 松彦
東北大学
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