微小流路中における表面科学研究のためのQCMの集積化
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概要
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This paper reports integration of quartz-crystal microbalance (QCM) sensors on a monolithic quartz crystal plate without using microfabrication. The QCM sensor used for this study is specially developed for sensing within a microfluidic channel. In this study, the distance between QCMs was optimized by monitoring frequency change caused by a mass load onto a neighboring QCM. It was found that circular shape QCM is suitable for the integration. The optimized QCM array was used for monitoring an etching of a gold electrode of the QCM by electrochemically generated oxidant. The measured phenomenon is practically useful for the cleaning of an integrated sensor within a packaged microfluidic channel.
- 2009-12-01
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