スパッタコーティングボロン薄膜の真空特性
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概要
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- 1995-11-27
著者
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赤石 憲也
核融合研
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赤石 憲也
核融合科学研究所
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久保田 雄輔
核融合科学研究所
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船戸 康幸
鈴鹿高専
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久保田 雄輔
核融合研
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虫明 基
川崎医科大学
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虫明 基
川崎医大
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船戸 康幸
鈴鹿工業高等専門学校電子情報工学科
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赤石 憲也
核融合科学研
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