<原著>ステンレス鋼真空容器の常温排気特性
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概要
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新たに製作した容器を接続したステンレス鋼真空容器の常温排気特性を調べた。特性は10回繰り返して測定し,1回当たりの排気時間は6時間である。その結果,初期排気特性はp=pot^<-0.93>と表され,時間のべき乗則に従っていた。また,初期排気で,排気時間1時間と6時間での気体放出速度は,各々1.6×10^<-4>(Pam^3s^<-1>m^<-2>),3.3×10^<-5>(Pam^3s^<-1>m^<-2>)であった。これらの値は,従来文献に記載されている値と同じ範囲にあった。10回目の排気後に更に49時間の排気を実施し,到達圧力は1.3×10^<-5>(Pa)であった。これら複数の真空特性から,この真空容器は真空の観点から健全であることが確かめられた。また,一連の排気特性を比較した結果,大気開放状態から常温で3回の予備排気を行うことにより,4回目以降の排気ではほぼ一定の排気特性が得られることが分かった。
- 川崎医科大学の論文
- 2002-12-25
著者
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