プラズマ支援重合法による高分子光導波路の形成
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概要
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We have fabricated an optical polymer waveguide using plasma-enhanced polymerization. C6H6 and C6H10 are used as monomer materials for depositing core and cladding layer, respectively, because the refractive index of polymerized layers dominantly depend on the ratio of sp2 and sp3 bond in those. By decreasing rf power less than 0.04 W/cm2 dangling-bonds formed in a polymer film will be suppressed, so that a relative low loss waveguide has been fabricated. We have measured propagation loss of those waveguides in end-fire method by using laser light at 787 nm wavelength. The losses are 3.2 cm-1 for the samples plasma-polymerized in Ar.
- 社団法人 電気学会の論文
- 2008-02-01
著者
-
森木 一紀
東京都市大学
-
湯本 雅恵
東京都市大学
-
湯本 雅恵
武蔵工業大学
-
森木 一紀
東京都市大学工学部
-
森木 一紀
武蔵工業大学工学部電気電子工学科
-
佐藤 徹治
武蔵工業大学工学部
-
板橋 敦
武蔵工業大学工学部
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