プラズマを利用したポリイミド/銅密着力の改善
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概要
- 論文の詳細を見る
- 1999-06-25
著者
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田坂 茂
静岡大学工学部物質工学科
-
稲垣 訓宏
静岡大学工学部物質工学科
-
田村 克浩
静岡県静岡工業技術センター
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田村 克浩
静岡県静岡工技セ
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Tasaka Shigeru
Graduate School Of Electric Science And Technology Shizuoka University
-
Tasaka Shigeru
Department Of Material Systems Engineering Faculty Of Technology Tokyo University Of Agriculture And
-
田坂 茂
静岡大・工
-
稲垣 訓宏
静岡大学工学部材料精密化学科
-
曽布川 正
静岡県静岡工業技術センター
-
稲垣 訓宏
静岡大学工学部
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