単結晶シリコン赤外線光源の高速変調特性
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 1997-02-19
著者
-
大屋 誠志郎
神奈川県産業技術総合研究所
-
古田土 節夫
アンリツ(株)研究所
-
古田土 節夫
神奈川県産業技術総合研究所
-
古田土 節夫
アンリツ(株)
-
湯浅 宏康
神奈川県産業技術総合研究所
-
唐澤 志郎
神奈川県産業技術総合研究所
-
秋本 健二
神奈川県産業技術総合研究所
-
秋本 健二
光明理化学工業
-
大屋 誠志郎
神奈川県産業技術センター
関連論文
- 炭化珪素薄膜の結晶成長に及ぼす電子衝撃の効果
- プラズマCVDトライオ-ド法によるSiC薄膜の作製
- マイクロエアブリッジヒータを用いた熱式風速計の試作
- マイクロエアブリッジヒータを用いた熱式風速計の試作
- 微小塩素ガスセンサーの開発 : 電極式毒性ガスセンサーの微小化(第1報) (ダウンサイズ化する分析化学)
- 液液界面電子移動反応を利用した電流増幅型電気化学マイクロチップの開発
- 油水界面形成マイクロ流路における電気化学検出
- 新規に微小化された電極式シアン化水素用ガスセンサー
- マイクロTAS用試薬供給モジュールの開発(OS.12 機能性マイクロデバイスの創製・評価)
- 高精度磁場中測温用円筒型SiGe薄膜温度センサ
- 感光性シートを用いたマイクロ流路と一体化電極の評価
- 貫通型マイクロエアブリッジヒータを用いた熱式風速計の試作 : （チップスケール風洞型風速計）
- サマリー・アブストラクト
- 電子機器用の白金薄膜技術 (特集 白金族金属の材料科学)
- 神奈川県産業技術総合研究所
- 白金薄膜の成膜と薄膜測温素子の作製について
- スパッタリング法を用いて酸化マグネシウム基板上に成膜した白金薄膜の表面構造と電気特性
- パルスレーザー成膜法によるSrTiO_3 薄膜の作製
- パルス・レーザ法により成膜されたバリウムほう珪酸ガラス薄膜の放射率測定
- 単結晶シリコンを用いたマイクロブリッジ赤外線光源
- 単結晶シリコン赤外線光源の高速変調特性
- マイクロマシーニングによるシリコンブリッジの温度高速変調特性
- Optical MEMS 2001
- シリコンPIN型フォトダイオ-ドアレイのクロスト-クの低減