貫通型マイクロエアブリッジヒータを用いた熱式風速計の試作 : (チップスケール風洞型風速計)
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概要
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We developed a thermal anemometer using a novel sensor chip fabricated by the silicon micromachining technique. A chip scale wind tunnel on the sensor chip allowed the fluid to flow from the front to back side. Since conventional sensors using a micro-air-bridge heater were placed parallel to air flow, the heat transfer from the heater was influenced by turbulence generated from a chip edge or other micro structures. We expected that the chip scale wind tunnel bound air flow to keep regularity of heat transfer. By using the sensor chip, we produced a prototype thermal anemometer, and measured characteristics. The anemometer could measure wind velocity in the range of 0∼35m/sec. The directivity to wind direction was very symmetric at 5, 10, 15 and 20m/sec.
著者
-
金子 智
神奈川県産業技術センター
-
木村 光照
東北学院大学
-
八坂 慎一
神奈川県産業技術総合研究所
-
大屋 誠志郎
神奈川県産業技術総合研究所
-
三橋 雅彦
神奈川県産業技術総合研究所
-
伊藤 健
神奈川県産業技術総合研究所
-
菅野 洋一
(株)アイ電子技研
-
相京 幸保
(株)フラット電子
-
小室 眞一
(株)フラット電子
-
大林 一也
(株)フラット電子
-
伊藤 健
神奈川県産業技術センター
-
八坂 慎一
神奈川県産業技術センター
-
三橋 雅彦
神奈川県産業技術センター
-
大屋 誠志郎
神奈川県産業技術センター
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