Alの陽極酸化皮膜を利用した高アスペクト比微細加工と繊毛運動アクチュエータ
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概要
- 論文の詳細を見る
- 2000-03-07
著者
-
竹澤 昌晃
九州工業大学
-
山崎 二郎
九州工業大学
-
本田 崇
九州工業大学
-
本田 崇
九州工業大学電気工学科
-
太屋岡 篤憲
九州工業大学
-
太屋岡 篤憲
九工大
-
江崎 浩司
九州工業大学
-
小谷 隆文
九工大
-
小谷 隆文
九州工業大学
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