Si高アスペクト比微細加工を用いた磁歪振動マイクロモータ
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概要
- 論文の詳細を見る
- 2000-12-07
著者
-
竹澤 昌晃
九州工業大学
-
山崎 二郎
九州工業大学
-
杉野 友啓
九工大
-
本田 崇
九州工業大学工学部
-
本田 崇
九工大
-
本田 崇
九州工業大学
-
石崎 雄一
九州工業大学
-
杉野 友啓
九州工業大学
-
本田 崇
九州工業大学電気工学科
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