Al陰極N2/Ar, N2/He混合ガス真空アークを用いたAlN膜の生成
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概要
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- 1996-06-03
著者
-
滝川 浩史
豊橋技術科学大学 電気・電子工学系
-
滝川 浩史
豊橋技術科学大学
-
榊原 建樹
豊橋技術科学大学 電気電子工学系
-
松尾 廣伸
豊橋技術科学大学
-
松尾 廣伸
豊橋技科大
-
田中 邦泰
豊橋技術科学大学
-
田中 邦泰
豊橋技科大
-
榊原 建樹
豊橋技術科学大学
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