プラズマとイオンビームアシスト蒸着による窒化炭素薄膜の作製と構造
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概要
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- 1997-03-13
著者
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馬場 恒明
長崎県工業技術センター
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馬場 恒明
長崎県工業センター
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畑田 留理子
Materials Science Section, Industrial Technology Center of Nagasaki
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畑田 留理子
長崎県工業技術センター
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畑田 留理子
Materials Science Section Industrial Technology Center Of Nagasaki
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