プラズマソースイオン注入法によるTiへのCイオン注入とDLC膜作製
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概要
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- 2001-06-01
著者
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馬場 恒明
長崎県工業技術センター
-
長田 純夫
福岡大 資源循環・環境制御システム研
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馬場 恒明
長崎県工業センター
-
畑田 留理子
Materials Science Section, Industrial Technology Center of Nagasaki
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畑田 留理子
長崎県工業技術センター
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長田 純夫
福岡大学資源循環・環境制御システム研究所
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畑田 留理子
Materials Science Section Industrial Technology Center Of Nagasaki
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