PLD法で成膜したAlN薄膜表面の粗さ評価

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概要

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• 1999-03-12

著者

• 八井 浄

  長岡技術科学大学極限エネルギー密度工学研究センター

• 平井 誠

  長岡技大極限センター

• 江 偉華

  長岡技術科学大学極限エネルギー密度工学研究センター

• 八井 浄

  長岡技術科学大学 極限エネルギー密度工学研究センター

• 江 偉華

  長岡技術科学大学

• 偉華 江

  長岡技術科学大学電気系 同粒子ビーム工学センター

• 平井 誠

  長岡技術科学大学

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