集光フェムト秒レーザー加工を用いたガラス表面上への微細構造の形成(フォトニックNW・デバイス, フォトニック結晶・ファイバとその応用, 光集積回路, 光導波路素子, 光スイッチング, 導波路解析, 及び一般)
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概要
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本報告では, 焦点深度に対して十分に厚い膜を加工対象に塗布して加工を行うことで, 加工対象の融解や蒸発を低減や加工対象からの物質の飛散や融解物の流れ出しの低減ができることを示す.さらに, 透明材料の膜厚を調整することにより, 熱による加工領域の増大やプラズマによる材料放出の遮蔽効果により, 突起状の構造物を作製できることを示す.具体的には, 加工対象であるガラス表面にpoly-methyl methacrylate(PMMA)をコートして, エネルギーや集光位置を変化させてレーザーを照射したときに形成される構造の観察結果を示し, デブリや熱的ダメージの低減効果, さらに, 物質放出の遮蔽効果による微小突起の形成について述べる.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2006-01-25
著者
-
早崎 芳夫
徳島大学工学部光応用工学科
-
西田 信夫
徳島大学工学部光応用工学科
-
河村 大樹
徳島大学工学部
-
早崎 芳夫
宇都宮大
-
西田 信夫
徳島大学工学部
-
西田 信夫
徳島大学
-
河村 大樹
徳島大学
-
早崎 芳夫
徳島大学工学部
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