ゲルマニウム単結晶基板の化学的機械的研磨における酸化剤の効果

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概要

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• 砥粒加工学会の論文
• 2006-02-01

著者

• 越山 勇

  (財)越山科学技術振興財団

• 千田 哲司

  (株)フジミインコーポレーテッド

• 星屋 佐知子

  (株)フジミインコーポレーテッド

• 越山 勇

  越山科学技術振興財団

• 正井 治夫

  (株)フジミインコーポレーテッド

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