合成樹脂成型体のポリシングスラリーとそのメカニズム
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
プラスチックレンズ等に用いられている合成樹脂は, 酸化アルミニウム砥粒とポリ塩化アルミニウムなどの塩によるメカニカルケミカルポリシングが行なわれているが, そのポリシングのメカニズムを明らかにした. また, ベーマイト系の水酸化アルミニウムから得られる酸化アルミニウム砥粒は一般的な溶融アルミナに比べてはるかに高いポリシングスピードが得られることがわかった.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 2005-01-05
著者
-
越山 勇
(財)越山科学技術振興財団
-
千田 哲司
(株)フジミインコーポレーテッド
-
越山 勇
越山科学技術振興財団
-
正井 治夫
(株)フジミインコーポレーテッド
-
POUTASSE Charles
Fujimi Corporation
関連論文
- H22 加工環境コントロールによるシリコンの加工に関する研究(H2 加工(CMP-2))
- 超精密ポリシングとCMP技術の進歩--平坦化CMPの半導体LSIプロセスへの適用 (特集欄 超精密マイクロ・ナノ機械加工) -- (研磨加工)
- 金属材料のメカニカル・ケミカルポリシング方法
- ゲルマニウム単結晶基板の化学的機械的研磨における酸化剤の効果
- 合成樹脂成型体のポリシングスラリーとそのメカニズム
- 315 加工環境制御型密閉式両面CMP装置の設計試作とその加工特性(GS 生産加工II)
- 316 密閉型CMPシステムによる二酸化炭素を利用したCu-CMP(GS 生産加工II)
- K35 密閉耐圧チヤンバー型両面同時CMP装置の開発 : 各種加工雰囲気下でのsiおよびsicウエハのcMP特性と光触媒援用cMPの可能性について(K3 CMPII)