誘電体薄膜材料

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概要

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• 1996-12-05

著者

• 小木 勝実

  三菱マテリアル

• 小木 勝実

  三菱マテリアル(株)総合研究所材料技術研究所

• 齋 篤

  三菱マテリアル(株)総合研究所材料技術研究所

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• 誘電体薄膜材料

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