齋 篤 | 三菱マテリアル(株)総合研究所材料技術研究所

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概要

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• 同名の論文著者
• 三菱マテリアル(株)総合研究所材料技術研究所の論文著者

関連著者

• 小木 勝実

  三菱マテリアル

• 小木 勝実

  三菱マテリアル(株)総合研究所材料技術研究所

• 齋 篤

  三菱マテリアル(株)総合研究所材料技術研究所

• 佐藤 正光

  三菱マテリアル(株)総合研究所材料技術研究所

• 内田 寛人

  三菱マテリアル(株)

• 斎藤 記庸

  三菱マテリアル(株)

著作論文

• (5) 次世代半導体配線用新規Cu錯体の評価とCu膜の作製
• MOCVD用新規有機銅錯体の評価と銅膜の形成
• 誘電体薄膜材料

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