複合ターゲットスパッタ法で作製した(CoFeB)-(SiO_2)高電気抵抗膜の鉄損特性
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概要
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- 2000-09-07
著者
-
宗像 誠
崇城大・エネルギーエレクトロニクス研究所
-
八木 正昭
崇城大・エネルギーエレクトロニクス研究所
-
島田 寛
東北大・科学計測研究所
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荒井 薫
みやぎ産業振興機構
-
荒井 薫
(有)ハヤマ
-
古城 圭一
崇城大学(旧熊本工業大学)・エネルギーエレクトロニクス研究所
-
古城 圭一
崇城大・エネルギーエレトロニクス研究所
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