マグネトロンスパッタリング装置中のプラズマおよび磁界に関する解析
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概要
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- 日本計算工学会の論文
- 1999-05-26
著者
-
井門 俊治
埼玉大学工学部機能材料工学科
-
柏木 美恵子
原子力機構
-
柏木 美恵子
日本原子力研究所核融合工学部nbi過熱研究室
-
柏木 美恵子
博士後期課程 埼玉大学大学院理工学研究科
-
井門 俊治
埼玉大学工学部
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