平板型マグネトロンスパッタリングのプラズマシミュレーション
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概要
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Simulations are carried out to trace three-dimensional electron orbits in a planer-type magnetron sputtering system with rectangular magnets. Ionization points are obtained to approximate the distribution of plasmas. The effect of pressure of sputtering gas is examined in the simulations.
- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 1993-10-25
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