マグネトロンスパッタリング装置中の電子軌道シミュレ-ション
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
The motions of electrons are traced in magnetic and electric fields of magnetron sputtering systems.Electrons are emitted from a target cathode and show drift motions resulting in generation of plasmas. Collisions between electrons and neutral gas atoms of Ar are examined by using Monte Carlo method.Ionization points are used to calculate sputtering rate on a target. The calculated profiles of sputtering rate show good agreement with the erosion profiles measured in experiments.
- 社団法人 プラズマ・核融合学会の論文
著者
関連論文
- 没入型バーチャルリアリティ装置(CAVE)による電磁界の可視化
- フリーメッシュ法の電磁界解析への適用
- 強磁性体ターゲットを用いたマグネトロン装置の磁界解析
- プラズマシミュレーションにおける電磁界解析
- 23pB16p 負イオン源用プラズマ中性化セルの開発(慣性核融合/加熱)
- 平板型マグネトロンスパッタリングのプラズマシミュレーション
- マグネトロンスパッタリング装置中のプラズマおよび磁界に関する解析
- マグネトロンスパッタリングプラズマの生成・制御に関するシミュレーション研究 : CD-ROM特別企画 動画を用いたプラズマダイナミックスの研究
- 埼玉大学工学部井門研究室
- 電磁界解析におけるフリーメッシュ有限要素法の適用性
- バケット型イオン源中におけるプラズマ生成に関するシミュレーション
- マグネトロンスパッタリング装置中における強磁性体ターゲットの***ージョン解析
- 29a-WA-4 トカマクダイバータ中の粒子輸送に関するシミュレーション
- 29a-WA-3 径方向電界がある場合の粒子輸送シミュレーション
- 電磁界解析における3次元可視化の研究
- ネットワーク対応型可視化環境の開発
- マグネトロンスパッタリング装置中における磁界解析
- フリーメッシュ有限要素法による磁界解析
- バケット型イオン源中の一次電子の軌道及び衝突と寿命に関する研究
- マグネトロン装置中でのプラズマ生成のシミュレーション研究
- 強磁性体ターゲットを用いたマグネトロンスパッタリング装置中の磁界とプラズマ解析
- フリーメッシュ有限要素法の磁界解析への適用
- Co 及び Cr を添加した FeSi_2 非晶質薄膜の結晶化に伴う電気的性質の変化
- ネットワークを用いた並列計算システムの応用
- MIMD型並列プログラミングのネットワークコンピューティングへの応用
- スーパーコンピューティング国際会議レポート
- P01-第二部-(1) 電磁界の科学の教材(市民フォーラム「中等教育における理科・技術科教育(2001)」)(技術と社会部門,工業教育部会企画)
- ポーランドとの国際協力
- 並列プログラミングの粒子軌道シミュレーションへの応用
- 初期値問題シミュレーションのトランスピュータを用いた並列化
- マグネトロンスパッタリング装置中の電子軌道シミュレ-ション
- イオンビ-ム引き出しシミュレ-ションの並列化