マグネトロンスパッタリング装置中における強磁性体ターゲットの***ージョン解析
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 日本計算工学会の論文
- 1997-05-28
著者
-
井門 俊治
埼玉大学工学部機能材料工学科
-
柏木 美恵子
原子力機構
-
鈴木 武志
埼玉大学
-
柏木 美恵子
日本原子力研究所核融合工学部nbi過熱研究室
-
柏木 美恵子
埼玉大学大学院理工学研究科
-
小西 頼彦
埼玉大学大学院理工学研究科
-
鈴木 武志
埼玉大学大学院理工学研究科
-
井門 俊治
埼玉大学工学部
関連論文
- 没入型バーチャルリアリティ装置(CAVE)による電磁界の可視化
- フリーメッシュ法の電磁界解析への適用
- 強磁性体ターゲットを用いたマグネトロン装置の磁界解析
- プラズマシミュレーションにおける電磁界解析
- 27pA31P 大面積負イオン源における負イオンビーム一様性の改善(トカマク、加熱、電源・マグネット超伝導技術、炉設計)
- 27pA30P 真空絶縁型加速器による大電流負イオンビーム加速試験(トカマク、加熱、電源・マグネット超伝導技術、炉設計)
- 28pC14P IFMIF用多極磁場型イオン源のエミッタンスに及ぼすフィルター磁場の影響(加熱・炉設計・炉システム)
- 28pC08P 改良型電界緩和リングによるNBI用加速管耐電圧性能の向上(加熱・炉設計・炉システム)
- 29aA08 高密度負イオンビーム長パルス加速実験(加熱/炉設計)
- 28aB04P MeV級真空置き負イオン源の開発(加熱/炉設計)
- 28aB15P 水素負イオン源におけるセシウム効果(加熱/炉設計)
- 28aB14P MeV級負イオン源におけるビーム加速特性と真空置きイオン源の開発(加熱/炉設計)
- 負イオンNBIの開発とビーム応用研究
- 23pB16p 負イオン源用プラズマ中性化セルの開発(慣性核融合/加熱)
- 1MeV級負イオン加速管の耐電圧特性並びにビーム加速特性
- 大電流負イオンビーム発生技術
- ITER中性粒子入射装置用-1MV電源および負イオン加速器の開発
- 26aB20P 磁気フィルター付負イオン源における一様性への電子挙動の影響(加熱・加速, 磁場・電源, 炉設計, 新概念, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
- セシウム添加型大面積負イオン源におけるビーム一様性の改善
- 26aB17P プラズマ中性化セル開口部からの漏洩プラズマの抑制(加熱・加速, 磁場・電源, 炉設計, 新概念, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
- 26aB03 ITER NBI用真空絶縁型加速器による大電流負イオン加速(炉設計, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
- 高エネルギー負イオンビームによる半導体薄板製造技術
- 26aB04 高効率N-NBIに向けた負イオンビームのプラズマ中性化実験(加熱I)
- 29aA03 負イオン源引出し部磁場のビーム光学に与える影響(加熱/炉設計)
- ファイル名の仮想化の概念とその応用について
- 平板型マグネトロンスパッタリングのプラズマシミュレーション
- マグネトロンスパッタリング装置中のプラズマおよび磁界に関する解析
- マグネトロンスパッタリングプラズマの生成・制御に関するシミュレーション研究 : CD-ROM特別企画 動画を用いたプラズマダイナミックスの研究
- 埼玉大学工学部井門研究室
- 電磁界解析におけるフリーメッシュ有限要素法の適用性
- バケット型イオン源中におけるプラズマ生成に関するシミュレーション
- マグネトロンスパッタリング装置中における強磁性体ターゲットの***ージョン解析
- 29a-WA-4 トカマクダイバータ中の粒子輸送に関するシミュレーション
- 29a-WA-3 径方向電界がある場合の粒子輸送シミュレーション
- ITER NBI用SINGAP-MAMuG加速器の性能比較試験
- ITER用中性粒子入射加熱装置に向けた500keV水素負イオン加速器設計
- 負イオンビーム用プラズマ中性化セルのプラズマ特性
- 電磁界解析における3次元可視化の研究
- ネットワーク対応型可視化環境の開発
- マグネトロンスパッタリング装置中における磁界解析
- フリーメッシュ有限要素法による磁界解析
- バケット型イオン源中の一次電子の軌道及び衝突と寿命に関する研究
- マグネトロン装置中でのプラズマ生成のシミュレーション研究
- 強磁性体ターゲットを用いたマグネトロンスパッタリング装置中の磁界とプラズマ解析
- フリーメッシュ有限要素法の磁界解析への適用
- Co 及び Cr を添加した FeSi_2 非晶質薄膜の結晶化に伴う電気的性質の変化
- ネットワークを用いた並列計算システムの応用
- MIMD型並列プログラミングのネットワークコンピューティングへの応用
- 磁性体ターゲットのマグネトロンにおける磁界及びプラズマ生成の解析
- バケット型イオン源中のプラズマ生成に関するシミュレーション
- スーパーコンピューティング国際会議レポート
- P01-第二部-(1) 電磁界の科学の教材(市民フォーラム「中等教育における理科・技術科教育(2001)」)(技術と社会部門,工業教育部会企画)
- ポーランドとの国際協力
- 並列プログラミングの粒子軌道シミュレーションへの応用
- 初期値問題シミュレーションのトランスピュータを用いた並列化
- 29aC12P 表面生成型負イオン源におけるイオンビーム一様性の改善と高効率高周波イオン源の開発(トカマクI)
- 28aC01P セシウム添加型大面積負イオン源における原子及び負イオン生成分布の数値解析(加熱・加速、ミラー他)
- 30aC04P ITERに向けたセシウム添加型大面積負イオン源におけるビーム一様性のフィルタ強度依存(加熱・加速)
- 30aC03P ITERに向けたセシウム添加型大面積負イオン源における負イオンビーム一様性の改善(加熱・加速)
- 29aC10P ITER NB用Mev級加速器における大電流負イオンビーム加速(トカマクI)
- 02pC02 ITER級高パワー密度の負イオンビーム加速試験(加熱・加速)
- 30aC05P ITER用MeV級加速器のビーム光学(加熱・加速)
- マグネトロンスパッタリング装置中の電子軌道シミュレ-ション
- イオンビ-ム引き出しシミュレ-ションの並列化