対向ターゲット式スパッタリング法によるFe-C軟磁性薄膜の作製
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概要
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- 2003-09-01
著者
-
北本 仁孝
東工大総理工
-
山崎 陽太郎
東工大総理工
-
崔 京九
東京工業大学大学院総合理工学研究科
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北本 仁孝
東京工大 大学院総合理工学研究科
-
北本 仁孝
東京工業大学・大学院総合理工学研究科・物質科学創造専攻
-
山崎 陽太郎
東京工業大学大学院総合理工学研究科物質科学創造専攻
-
田上 裕之
東工大総理工
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崔 京九
TDK材研
-
北本 仁孝
東京工業大学大学院 総合理工学研究科
-
山崎 陽太郎
東京工業大学大学院 総合理工学研究科
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北本 仁孝
Department of Innovative and Engineered Materials, Interdisciplinary Graduate School of Science and Engineering,
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