傾斜型対向ターゲット(V型カソード)による高速成膜へのアプローチ

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概要

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• 日本真空協会の論文
• 2004-06-20

著者

• 西川 雅章

  (株)大阪真空機器製作所

• 小川 倉一

  (財)大阪産業振興機構

• 竹下 和義

  (株)大阪真空機器製作所

• 原口 孝之

  (株)大阪真空機器製作所

• 植田 吉彦

  (株)大阪真空機器製作所

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