西川 雅章 | (株)大阪真空機器製作所

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概要

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関連著者

• 西川 雅章

  (株)大阪真空機器製作所

• 小川 倉一

  (財)大阪産業振興機構

• 原口 孝之

  (株)大阪真空機器製作所

• 植田 吉彦

  (株)大阪真空機器製作所

• 神谷 潤一郎

  日本原子力研究所 東海研究所

• 神谷 潤一郎

  原子力機構

• 竹下 和義

  (株)大阪真空機器製作所

• 荻原 徳男

  日本原子力研究所東海研究所

• 荻原 徳男

  日本原子力研究開発機構

• 神谷 潤一郎

  日本原子力研究開発機構j-parcセンター

• 西川 雅章

  日本原子力研究開発機構J-PARCセンター

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著作論文

• 傾斜型対向ターゲット(V型カソード)による高速成膜へのアプローチ
• 低温・低ダメージプロセスによるインジウム-スズ酸化物(ITO)薄膜の作製
• キッカー電磁石に組込まれたフェライトのIn Situでの脱ガス処理 (小特集 第52回真空に関する連合講演会プロシーディングス(2))

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