遠赤外光検出用スロットアンテナ結合薄膜ウォームキャリア素子
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概要
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Slot antenna coupled thin-film warm carrier devices were fabricated, and the detection properties were investigated at 94 and 700 GHz. Two-dimensional 8 × 3 slot antenna arrays fed by a coplanar waveguide were used as the antennas. The thin-film antennas were fabricated with a photolithographic method, and the warm carrier detectors, which have the contact area of 8 × 10-10 cm2, were fabricated with an electron beam lithographic method. The experimental results indicate that the fabricated devices receive the far-infrared radiation with antenna and rectified it with non-linear I-V characteristic. By changing the antenna from the single slot antenna to the two-dimensional 8 × 3 slot antenna array, the detected sensitivity improved by 11 dB.
- 社団法人 電気学会の論文
- 2003-10-01
著者
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