スパッタ酸化法により製作したNi酸化膜の特性
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
Thin nickel oxide layers grown on nickel films by sputter-oxidation in an oxygen plasma were studied by ellipsometry and ion microanalysis. It was found that the saturated oxide thickness depends on the oxygen pressure. For oxygen pressure of (4.55.3) ×10<SUP>-4</SUP> Pa, the saturated oxide thickness was found to be 7090 Å by ellipsometry. This result was supported by the IMA measurement.<BR>Replica electron microscopy of the nickel oxide layer indicated that the oxide, grown in the oxygen pressure of (4.55.3) ×10<SUP>-4</SUP> Pa, had uniform distribution and that the surface got rough with sputter-oxidation time. However the oxide films grown in 7.5×10<SUP>-4</SUP> Pa had many cracks and showed no saturation thickness.
- 日本真空協会の論文
著者
関連論文
- 薄膜スロットアンテナを結合したGaAsショットキーバリアダイオードのビデオ検波・ミクシング特性(第6回赤外放射応用関連学会等年会)
- フェムト秒レーザによる純鉄表層の衝撃硬化
- 座談会「日本赤外線学会を魅力ある学会に-これからの学会活動を考える-」
- レーザー光化学反応による発光性シリコーンの開発 (特集 シリコーンが拓く新しいバイオ/フォトニクス)
- 446 フェムト秒レーザー照射による高配向性グラファイトからのダイヤモンド多形体の合成(レーザ加工(I),平成19年度秋季全国大会)
- スロットアンテナ結合YBCOジョセフソン素子の感度向上
- YBCO薄膜ジョセフソン素子によるミリ波周波数混合
- YBCO薄膜ジョセフソン素子による94GHzミリ波帯偶数次ハーモニックミクシングの特性
- ミリ波照射時におけるスロットアンテナ結合YBa_2Cu_3O_マイクロブリッジの応答機構と速度
- 抵抗性状態における高温超伝導 YBa_2Cu_3O_ マイクロブリッジのミリ波検出特性
- YBCO薄膜ジョセフソン素子によるミリ波帯スーパーヘテロダイン検波
- サブミリ波受信用延長半球レンズ結合スロットアンテナ
- 延長半球レンズ結合スロットアンテナの94GHzミリ波受信特性
- フォールデッドスロットアレーアンテナの94GHzミリ波受信特性
- 分離構造を有するスロットアンテナのミリ波受信特性
- 遠赤外レーザー光ミクシング素子の感度向上 -レンズによる感度向上-
- 2次元スロットアレーアンテナによる700GHzサブミリ波受信
- フォールデッドスロットアレーアンテナによるミリ波受信特性
- 基板吸収を考慮した遠赤外光ミクシング用受光素子の感度向上
- 無給電素子を有する誘電体基板上のスロットアレーアンテナの受信特性
- 延長半球レンズ結合スロットアンテナの製作
- 94GHzミリ波帯2次元スロットアレーアンテナの製作
- 遠赤外光ミクシング用受光素子の感度向上
- SCE2000-17 / MW2000-81 YBCO高温超伝導ホットエレクトロンボロメータによるミリ波検出
- ボロメータを検出部とした薄膜スパイラルアンテナの製作
- 遠赤外光検出用スロットアンテナ結合薄膜ウォームキャリア素子
- アンテナ結合素子による遠赤外レーザー光の周波数混合
- 検出器
- 2.5THzサブミリ波帯における薄膜スロットアンテナの動作特性
- 94GHzミリ波用薄膜アンテナ結合検波器の製作
- 2.5THz波受信用スロットアンテナアレー
- 基板の吸収を考慮した薄膜スロットアンテナの受信特性
- 遠赤外レーザ光検出用アンテナ総合マイクロボロメータアレイ(イメージセンシング技術)
- CO_2 レーザー光検出用無給電スロットアンテナアレーの受信特性
- 室温動作超高速遠赤外光検出素子
- 700GHz帯用電波吸収体の基礎検討
- 329 フェムト秒レーザー照射によるシリコン高圧相の合成(コーティング,平成20年度春季全国大会)
- 鉄鋼材料のフェムト秒レーザ衝撃硬化機構の一考察
- 真空紫外パルスレーザーを用いた高分子材料の表面改質とその応用
- フレキシブルシリコーンゴム基板上へのマイクロ光学部品の集積化(光部品の実装・信頼性,一般)
- 光パラメトリック増幅された近赤外フェムト秒レーザーによるポリシラン薄膜の形成
- フッ素レーザー照射によるシリカ微小球の光化学接合--関根松夫教授に捧ぐ
- 近赤外フェムト秒レーザーによるポリメチルフェニルシラン膜の形成--関根松夫教授に捧ぐ
- 有機ポリシロキサンの光化学表面改質におけるレーザー波長依存性
- F_2レーザーによる有機ポリシロキサン上へのシリカ微小球列の形成
- 高分子材料のレーザーアブレーション
- フェムト秒レーザーによるポリシラン膜の形成
- レーザーアブレーションによる酸化チタン膜の形成と光触媒への応用
- ポリマーへのF_2レーザー照射による微細光学素子の製作
- レーザーアブレーション法による光触媒チタニア膜の形成(安岡義純教授に捧ぐ)
- レーザーアブレーション法によるホウ素ドープダイヤモンド状炭素薄膜の形成(安岡義純教授に捧ぐ)
- パルスレーザーデポジション法により製作した光触媒TiO_2薄膜
- パルスレーザーデポジション法によって製作した薄膜の膜厚に対する酸素圧力の影響
- 開孔設置型off-axisパルスレーザー堆積法によって製作したTa_2O_5薄膜の
- Ta_2O_5薄膜製作のレーザーアブレーションプロセスにおけるプルーム発光
- パルスレーザーデポジション法によって製作したTa_2O_5薄膜の特性
- 開口遮蔽板を用いたオフ・アクシス・パルスレーザ・デポジション法
- オフ・アクシスレーザーアブレーション法によるTa_2O_5薄膜の堆積(II)
- オフアクシス・レーザーアブレーション法によって製作したTa_2O_5薄膜
- Off-axisレーザーアブレーション法によるTa_2O_5薄膜の堆積
- 遠赤外レーザ光検出用アンテナ結合マイクロボロメータアレー
- CH_3OHレーザー検出用マイクロボロメータの製作
- 薄膜スロットアンテナの2.5THzサブミリ波受信特性
- 最新の遠赤外線技術
- 第23回赤外・ミリ波国際会議の報告
- 第19回赤外とミリ波に関する国際会議報告
- 94GHzミリ波用薄膜アンテナ結合検波器の製作
- 94GHzミリ波用薄膜アンテナ結合検波器の製作
- 薄膜スロットアンテナの2.5THzサブミリ波受信特性
- SCE2000-17 / MW2000-81 YBCO高温超伝導ホットエレクトロンボロメータによるミリ波検出
- アルミニウムのフェムト秒レーザー駆動衝撃硬化
- 大気中の画像伝搬特性(MTF)と気象要素との相関
- フォールデッドスロットアレーアンテナによるミリ波受信特性
- スロットアンテナ結合YBCOジョセフソン素子の感度向上
- プリント化2アームスパイラルアンテナの90GHz帯における設計・試作結果
- フレキシブルシリコーンゴム基板上へのマイクロ光学部品の集積化(光部品の実装・信頼性,一般)
- フレキシブルシリコーンゴム基板上へのマイクロ光学部品の集積化(光部品の実装・信頼性,一般)
- 遠赤外光ミクシング用受光素子
- ミリ波・サブミリ波スロットアンテナの受信利得に対する基板厚さ依存性
- 半球レンズ結合スロットアレーアンテナによるマイクロ波・ミリ波受信特性
- 700GHz帯スロットアレーアンテナの受信特性
- 薄膜ウォームキャリア素子による428μm-HCOOHレーザー光の検出
- 94GHzミリ波帯スロットアレーアンテナの設計および製作
- 94GHz帯スロットアンテナの受信利得に対する基板厚さ依存
- 94GHz帯スロットアンテナの受信利得に対する基板厚さ依存
- 薄膜スロットアンテナによる遠赤外レーザー光の検出
- 94GHz帯スロットアレイアンテナ : アンテナ設計
- スパッタ酸化法により製作したNi酸化膜の特性
- サマリー・アブストラクト
- 有機ポリシロキサンターゲットを用いたPLD-SiO_2薄膜の酸素ガス圧依存性
- 有機ポリシロキサンのレーザーアブレーションによるSiO2薄膜の室温形成(鈴木隆教授に捧ぐ)
- ArFエキシマレーザによるシリコーンゴムの表面改質と発光層の形成 (特集 レーザを用いた機能創成)
- 真空紫外レーザーを用いたアルミニウム薄膜のパターン形成
- レーザー光化学反応による発光性シリコーンの開発
- パルスレーザ堆積法によって製作したTiO_2薄膜の光触媒効果
- シリコーンへのエキシマレーザー照射による薄膜形成と表面改質
- F_レーザーによるシリコーンの表面改質
- フェムト秒レーザ駆動衝撃硬化した純アルミニウムの透過電子顕微鏡観察
- 真空紫外パルスレーザーによるシリコーンゴム基板上へのアルミニウム薄膜のパターニング
- フッ素レーザによる耐摩耗性ポリカーボネートの開発