シリコンウェハー製造工程で排出される廃酸からの酸の分離・回収
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概要
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シリコンウエハーエッチング工程廃液に溶媒抽出法を適用して，酸を分離・回収するために基礎研究を行った．抽出剤に2-エチルヘキシルアルコール（EHA）とリン酸トリブチル（TBP）を用いて，酢酸，硝酸，フッ酸およびシリコンの4成分を含む廃液から単一成分の酢酸，硝酸およびフッ酸の分離を検討した．EHAは酢酸に対する抽出選択性に優れていた．TBPは硝酸およびフッ酸の回収に有効であった．EHAを使用した場合，エッチング廃液から3段の向流抽出，10段の向流洗浄および水による4段の向流剥離（逆抽出）の操作によって2.0mol/dm3の酢酸が回収できる．TBPを使用した場合，3段の向流抽出，10段の向流洗浄，5段の向流剥離の操作によって6.0mol/dm3の硝酸が回収できる．TBPにより4段の向流抽出，9段の向流剥離によって6.0mol/dm3のフッ酸が回収できる．得られた基礎試験の結果から，シリコンウエハーのエッチング廃液からの酸回収のプロセスを構築した．
- 社団法人 化学工学会の論文
- 2002-05-20
著者
-
芝田 隼次
関西大学工学部化学工学科
-
芝田 隼次
関西大学 工学部化学工学科
-
山本 秀樹
関西大学環境都市工学部 エネルギー・環境工学科
-
山本 秀樹
関西大学工学部化学工学科
-
森川 正貴
関西大学工学部 化学工学科
-
芝田 隼次
関西大学環境都市工学部エネルギー環境工学科
-
山本 秀樹
関西大学工学部 化学工学科
-
芝田 隼次
関西大学工学部
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