シリコン単結晶の超微小切削における表面酸化の影響
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概要
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- 2000-09-01
著者
-
毛利 尚武
東京大学
-
稲村 豊四郎
金沢大学工学部
-
稲村 豊四郎
名古屋工業大学
-
武澤 伸浩
名古屋工業大学
-
島田 尚一
大阪大学 大学院 工学研究科
-
郭 永豊
名古屋工業大学
-
郭永 豊
ハルビン工業大学
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