E06 スリット間追跡加工による微細軸成形および成形軸による絶縁性セラミックスの微細加工(OS-8 放電加工(1))
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概要
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This study describes a new method for micro-pin electrode formation and its application to micro machining of insulating ceramics. The rotating electrode is moved through the inside of the working plate with scanning EDM, then it changes into a micro-pin with a very small diameter. Two electrically isolated plates were set in position, and movement of the electrode is controlled to maintain a centered position by measuring current to the isolated plates. Machined diameter closely corresponded to the desired diameter. A micro hole of 30μm diameter was drilled into insulating Si3N4 ceramics using a formed micro-pin electrode.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2008-11-21
著者
-
谷 貴幸
筑波技術大学 産業情報学科
-
毛利 尚武
東京大学
-
梅田 和彦
東京大学
-
後藤 啓光
筑波技術大学
-
毛利 尚武
大学評価・学位授与機構
-
毛利 尚武
東京大学大学院工学研究科
-
谷 貴幸
筑波技術大学
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