ワイヤ放電加工によるSi_3N_4の厚板加工

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概要

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• 2002-03-01

著者

• 毛利 尚武

  東京大学

• 福澤 康

  長岡技科大

• 真柄 卓司

  三菱電機(株)

• 毛利 尚武

  東京大学大学院工学研究科

• 真柄 卓司

  三菱電機 (株)

• 後藤 啓光

  長岡技科大(院)

• 真柄 卓司

  三菱電機

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