三角形ドレッサおよび楕円ドレッサによる研磨パッドの平坦化
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概要
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- 2000-09-01
著者
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中川 泰忠
(株)東芝生産技術センター
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西村 哲郎
(株)東芝 生産技術センター
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小池 栄二郎
(株)東芝 生産技術センター
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中川 泰忠
東芝生産技術センター
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中川 泰忠
大阪大学大学院
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小池 栄二郎
東芝生産技術センター
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