円筒型粒子法による平行平板間の高アスペクト比スクイーズ流れ解析(流体工学,流体機械)
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概要
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In this paper, a cylindrical particle method to simulate squeezing flow in a high aspect ratio domain is proposed. In a high aspect ratio domain, the scale of the vertical direction is incomparably smaller than that of the plane direction. It is practically impossible to simulate such a domain in three dimensions because a large number of calculation points are necessary and it takes too much time. A high aspect ratio domain is represented by a two dimensional model and particles are regarded as cylinders. Sizes of particles change according to the height and the pressure term is calculated so as to make the fluid incompressible. As a result, fluid flow in the two dimensional plane is calculated. Three dimensional viscosity resistance is calculated so that viscosity in simulation is accorded with that in an experiment. Simulation results agree with the experiments qualitatively.
- 2009-04-25
著者
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田中 正幸
(株)東芝生産技術センター
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中川 泰忠
(株)東芝生産技術センター
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柴田 英雄
東芝ソリューション(株)半導体・液晶エンジニアリング事業部
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中川 泰忠
東芝生産技術センター
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中川 泰忠
大阪大学大学院
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田中 正幸
(株)東芝
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