磁気ディスク用圧電マイクロアクチュエータ
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概要
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- 2002-03-01
著者
-
栗原 和明
(株)富士通研究所
-
肥田 勝春
(株)富士通研究所材料技術研究所無機・高分子材料研究部
-
小金沢 新治
富士通(株)
-
肥田 勝春
(株)富士通研究所基盤技術研究所
-
三田 剛
(株)富士通研究所
-
小金沢 新治
富士通
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