二段アクチュエータの課題と動向(ハードディスクドライブ及び一般)
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概要
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二段アクチュエータでは、マイクロアクチュエータを駆動することにより土台であるキャリッジやサスペンションの振動モードを少なからず励振してしまうが、その振幅が大きくなると制御帯域の拡大を阻害する可能性がある。我々は、この課題に対し、軽量化・高共振化したサスペンション駆動形マイクロアクチュエータと、回転駆動によるスライダ駆動形マイクロアクチュエータにより改善を試みた。本稿では、これらマイクロアクチュエータについて述べる。なお、講演においては、この背景に基づく最近の開発動向についても紹介する。
- 2004-02-06
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