ヘッドサスペンション駆動形マイクロアクチュエータを用いた二段アクチュエータの高帯域化(S62-1 機構・制御(1),S62 情報機器コンピュータメカニクス)
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概要
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Dual-stage actuators sometimes have a serious problem that the driving force of microactuators excites VCM vibration. To avoid the problem, we designed a suspension-drive piezoelectric micro-actuator to have high resonant frequency and small mass. We installed the microactuator in one of Fujitsu's 3.5-inch commercial drives for evaluation of the dual-stage servo system. The dual-stage actuator system achieved the openloop crossover frequency of 4 kHz.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2004-09-04
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