チタニア高速成膜 - 還元型酸化物ターゲットスパッタと反応性スパッタ -
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概要
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- 2001-05-20
著者
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林 泰夫
旭硝子株式会社中央研究所
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林 泰夫
旭硝子(株)中央研究所
-
林 篤
旭硝子株式会社中央研究所
-
大崎 壽
旭硝子(株)中央研究所
-
大崎 寿
旭硝子株式会社中央研究所
-
橘 ゆう子
旭硝子株式会社中央研究所
-
光井 彰
旭硝子株式会社中央研究所
-
光井 彰
旭硝子(株)中央研究所
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