導電性セラミックターゲットを用いた直流マグネトロンスパッタリングによる酸化物薄膜の作製とその特性

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概要

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• 2001-09-01

著者

• 光井 彰

  旭硝子株式会社中央研究所

• 光井 彰

  旭硝子(株)中央研究所

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