光井 彰 | 旭硝子株式会社中央研究所

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概要

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関連著者

• 光井 彰

  旭硝子株式会社中央研究所

• 光井 彰

  旭硝子(株)中央研究所

• 林 泰夫

  旭硝子株式会社中央研究所

• 林 泰夫

  旭硝子(株)中央研究所

• 梅田 一徳

  機械技術研究所基礎技術部

• 榎本 祐嗣

  機械技術研究所

• 榎本 祐嗣

  工業技術院機械技術研究所

• 林 篤

  旭硝子株式会社中央研究所

• 大崎 壽

  旭硝子(株)中央研究所

• 大崎 寿

  旭硝子株式会社中央研究所

• 橘 ゆう子

  旭硝子株式会社中央研究所

• 万波 和夫

  エー・ジー・テクノロジー(株)技術開発センター

• 梅田 一徳

  機械技術研究所 基礎技術部トライボロジー研究室

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著作論文

• 導電性セラミックターゲットを用いた直流マグネトロンスパッタリングによる酸化物薄膜の作製とその特性
• チタニア高速成膜 - 還元型酸化物ターゲットスパッタと反応性スパッタ -
• ZrB_2, B_4CおよびZrB_2+B_4C+SiCセラミックスの大気中高温における摩擦・摩耗特性

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