Ti-O_2マグネトロンスパッタにおけるTi原子密度の放電パラメータ依存性測定
スポンサーリンク
概要
著者
関連論文
- TiO_2膜成長に与えるSi表面プラズマクリーニング効果
- 単結晶シリコン表面の反射防止構造の作製および評価
- 紫外線および酸化チタン光触媒による有機系ガスの気相分解
- イオン線吸収法による誘導結合プラズマ支援DCスパッタ中のTiイオン密度測定とイオン化機構の検討
- 誘導結合プラズマ支援マグネトロンスパッタにおける Ti 原子密度と Ti イオン密度測定
- チタンターゲットスパッタにおけるチタンイオンの分光測定
- Ti-O_2マグネトロンスパッタにおけるTi原子密度の放電パラメータ依存性測定
- 反応性スパッタ法により作成した酸化チタン薄膜の光触媒効果
- 原子吸光法を用いたTi-O_2マグネトロンスパッタにおけるTi原子密度測定
- 真空紫外光を用いた化学的気相成長法によってテキラエトキシシランを原料として堆積した薄膜の評価
- Xe_2エキシマーランプを用いた有機シリコン原料の気相における光分解
- サマリー・アブストラクト
- サマリー・アブストラクト
- サファイア基板上VO_2薄膜の結晶構造転移の温度依存性
- 第30回真空展 VACUUM2008 併設「真空トピックス」の報告
- 反応性スパッタ法による酸化ビスマス薄膜の堆積とレーザー照射による光学特性変化
- 反応性スパッタ法による相転移V_2O_3薄膜のサファイア基板上へのエピタキシャル成長