プラズマディスプレーパネル用MgO膜の蒸着時酸素分圧とガス吸着特性
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概要
著者
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大平 卓也
三菱電機株式会社先端技術総合研究所
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衣川 勝
三菱電機 先端技総研
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沢田 隆夫
三菱電機株式会社先端技術総合研究室
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渡辺 勁二
株式会社エレバム
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福山 敬二
三菱電機株式会社先端技術総合研究室
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衣川 勝
三菱電機株式会社先端技術総合研究室
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佐野 耕
三菱電機株式会社ディスプレーデバイス統括事務部
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沢田 隆夫
三菱電機株式会社 先端技術総合研究所
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