Nb/Si_3N_4固相拡散接合界面における反応組織

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概要

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• 2001-07-20

著者

• 柴柳 敏哉

  大阪大学接合科学研究所

• 奈賀 正明

  大阪大学接合科学研究所

• 前田 将克

  大阪大学接合科学研究所

• 馬場 大輔

  大阪大学大学院

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