R.F.スパッタ法によるナノ結晶Cr-B膜の作成と熱的安定性

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概要

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• 2000-07-20

著者

• 柴柳 敏哉

  大阪大学接合科学研究所

• 奈賀 正明

  大阪大学接合科学研究所

• 森 正和

  大阪大学大学院

• 前田 将克

  大阪大学接合科学研究所

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