超音速フリージェット法によるシリコン気相成長

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概要

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• 応用物理学会の論文
• 1993-08-10

著者

• 本岡 輝昭

  九州大学工学部材料工学科

• フォンス ポール

  電子技術総合研究所

• 阿部 弘

  筑波大学物理工学系

• 徳山 巍

  筑波大学物理工学系

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